简历详情
教育经历
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工作经历
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荣誉
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研究
基于CMOS成套工艺开发，围绕PEE-DIFF部门Furnace、RTP、IMP等工艺特色，推进CMOS Baseline、eFlash、BCD、智能制造等项目的开发，并进行有组织科研工作。具体如下：
1. 先进CMOS扩散工艺均匀性研究
2. eFlash器件的ONO结构研究
3. 用于先进芯片虚拟制造的计算热力学研究
4. 基于PINNs的CMOS智能制造扩散工艺模型开发
